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硅片

硅片又称硅晶圆片, 是制作集成电路的重要材料

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半导体硅材料


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产品详情

硅片又称硅晶圆片, 是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手 段,可以制成集成电路和各种半导体器件。硅片是以硅为材料制造的片状物体,直径有 6英寸、 8 英寸、 12 英寸、18英寸等规格。单晶硅是硅的单晶体,是一种比较活泼的非金属元素,具有基本完整的点阵结构。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到 99.9999%,甚至达到 99.9999999%,杂质的含量降到 10-9的水平。采用西门子法可以制备高纯多晶硅,然后以多晶硅为原料,采用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长 出棒状单晶硅。单晶硅圆片按其直径主要分为 6 英寸、 8 英寸、 12 英寸及 18 英寸等。

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关键词:硅片

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