制造SOI晶圆的三种主要技术

摘要

即绝缘体上硅,在绝缘衬底上异质外延硅获得的外延材料,衬底绝缘制作的电路采用介质隔离,因而具有寄生电容小、短沟道效应小、继承密度高、速度快、抗辐射能力强等优点。

  即绝缘体上硅,在绝缘衬底上异质外延硅获得的外延材料,衬底绝缘制作的电路采用介质隔离,因而具有寄生电容小、短沟道效应小、继承密度高、速度快、抗辐射能力强等优点。

  微电子技术在航空航天、国防和工业自动化中的无比威力更是众所皆知的事实。在大型电子计算机的控制下,无人飞机可以自由地在蓝天飞翔;人造卫星、宇宙飞船、航天飞机可以准确升空、飞行、定位,并自动向地面发回各种信息。在电子计算机的指挥下,火炮、导弹可以弹无虚发,准确击中目标,甚至可以准确击中空中快速移动目标,包括敌方正在飞行中的导弹。工业中广泛使用计算机和各种传感技术,可以节省人力,提高自动化程度及加工精度,大大提高劳动生产效率。机器人已在许多工业领域中出现。它们不仅任劳任怨,而且工作速度快、精确度高,甚至在一些高温、水下及危险工段工种中也能冲锋陷阵,一往无前,智能机器人也开始显示出不凡的身手。有效的组织配合和强烈的射门意识都令人拍手叫绝。战胜了世界头号特级国际象棋大师。它的精彩表演表明,智能计算机已发展到了一个崭新的阶段。

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