2024-04-28
直拉法又叫CZ法,是当今制备单晶硅的主流技术。主要流程是在石英坩埚中放入多晶硅,加热使其熔融,然后夹住一块单晶硅的籽晶,将它悬浮在坩埚之上,把籽晶的一端拉制插入熔体直到融化,然后再缓慢旋转并向上提拉,这样在液体与固体的界面就会经过逐渐冷凝形成单晶。由于整个过程可以看作是复制籽晶的过程,所以生成的硅晶体是单晶硅。晶体的掺杂也是通过直接在坩埚中加入掺杂剂,使掺杂元素在拉制单晶的过程中直接溶入单晶之中。
查看详情
2024-04-28
硅是呈灰色金属光泽的半金属,在元素周期表中属IVA族,元素序号14,元素符号为Si,原子量为28.09,熔点1410℃,密度2.33 g/cm3.在自然界中,硅极少以单质的形式存在,而是以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式,广泛存在于岩石、砂砾、尘土之中。硅是地壳构成中第二丰富的元素,占地壳总质量的26.4%,仅次于第一位的氧(49.4%)。
查看详情